金属の材料の油汚れやホコリ等を洗浄していきます。洗浄しないままですと後々影響するので、完全に汚れ等を除去させます。

レジストコートについては、ラミネーター又はディップコーターという装置（液体レジスト）で行います。また、この作業はホコリ等が材料に付着しないように、クラス10000のクリーンルーム中で行われます。

レジストの付いた材料にパターンを焼付けをしていきます。真空の状態にして、光がまっすぐ入るようにして作業を進めていきます。パタ ーンをしっかりと出すことで、断面がきれいに上がるようになります。

前の行程で露光したものを現像します。ここでパターンの部分だけがレジストで保護されて、残りの部分は地肌が出てきます。

現像した後にこの装置を入れ、熱を加えます。この熱を加えることで、レジストが次の行程「エッチング」でエッチング液にレジストが負けない よう耐久性を高められます。

エッチングマシーン（エッチャー）で露出している部分が溶けてパターンの図面寸法の様になります。

パターンの部分に残っているレジストを取り除きます。そして、洗浄ももう一度最後に行われ、検査工程に上がってきます。

ここでは寸法検査（3次元測定器・投影機等を使用）、外観検査が行われます。図面上の寸法と実際の製品寸法と照らし合わせていきます。